Project partners Industrial institutions ASML Netherlands BV NL Carl Zeiss SMT AG DE LaVision GmbH DE Adixen, Alcatel Vacuum Technology France FR Research institutions IMEC (Interuniversitair Micro-Electronica Centrum VZW) BE IMEL NCSR Demokritos GR TNO (Organisatie voor Toegepast Natuurwetenschappelijk Onderzoek) NL Academic institutions ITO, Universität Stuttgart DE Universität Würzburg DE Universiteit Twente NL Wageningen Universiteit NL Delft Technical University NL